枚葉式複合モジュール型 成膜加工装置 uGmni-200, 300
IoT・スマート社会実現の為に欠かすことの出来ない通信デバイス、センシングデバイス、オプトデバイス、パワーデバイスに加え、それらのデバイスを小型微細にパッケージングする実装技術は確実に今後ますます発展していきます。
アルバックでは、これらの電子デバイス市場での更なる事業拡大を目指します。
スマート社会の到来と共にIoTを支える電子デバイスの必要性は一層増していきます。
こうしたデバイスの開発は世界各地、同時進行で行われており、製造装置には、既存技術の向上と共に、先進的、革新的な技術開発による継続的な進化が求められます。
本資料では、電子部品の製造に関わるアルバックの真空装置を紹介します。
資料目次
・スパッタリング装置
・イオン注入装置
・真空蒸着装置
・アッシング装置
・エッチング装置
・CVD装置