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枚葉式複合モジュール型 成膜加工装置 uGmni-200, 300

株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

枚葉式複合モジュール型 成膜加工装置 uGmni-200, 300
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枚葉式複合モジュール型 成膜加工装置 uGmni-200, 300

同一搬送コアに様々なモジュールを搭載可能

電子部品の製造工程においては、成膜や微細加工など様々なプロセスを組み合わせてデバイスの製造が行なわれており、成膜等のプロセス毎に独立した専用の装置が使われるのが一般的です。

枚葉式複合モジュール型成膜加工装置「uGmniシリーズ」は、複数の異なるプロセスモジュールを同一搬送コアに搭載し、可能な限り構成部品の共通化を行いスペア部品の低減や同一操作画面による使い勝手向上など、電子部品の製造工程において更なる効率化を実現いたします。

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アルバックは、独創的な技術と次世代発想であらゆる産業と科学分野の発展のためにソリューションを提供します。

アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。

アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。

これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。

出展団体情報

出展団体名株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
所在地〒253-8543 神奈川県 茅ヶ崎市 萩園2500
設立年月1952年08月
従業員規模501名以上
URLhttps://www.ulvac.co.jp/