30種を超えるセンサヘッドラインナップで、コーティング面等様々な表面を確実に捉える。

Micro-Epsilon社の共焦点センサはナノメートルレベルの高分解能で対象物の厚さ、変位を最大70kHzで高速測定が可能です。

30種の標準センサモデルには極小Φ4mmのセンサや真空対応モデル、90°角等バラエティーに富んでおり、ラボからインライン、装置組み込みまで様々な用途で採用頂いております。


【アプリケーション例とセンサの特長】

■ガラス等の透明物・金属やプラスチック等の非透明物・高温のガラスや液体、空気層等特殊な対象でも計測が可能です。

■プローブは極小タイプ、高傾斜角タイプ、90°出射タイプ、真空対応タイプ等、様々なアプリケーションに対応します。

■小型90°出射タイプではボアホールの内部計測が可能となります。

■プローブに駆動部等の熱源はないので、高精度な位置精度を求められるポジションセンサとして使用可能です。

■ユニバーサルデザインでユーザーフレンドリーな設計のコントローラーはラボからインラインまで様々な用途からの要望に対応します。

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DUV/EUV共振器の監視にも使用される。高分解能、高安定性変位センサ

Micro-Epsilonは1968年ドイツ創業の老舗センサメーカーです。
弊社静電容量センサは数十ミリメートルの範囲を最高ピコメートルの分解能で高精度、高安定に測定するセンサです。
その高い性能とサポート力で日本・ドイツを中心に多くの光学、半導体関連の開発現場から製造現場まで幅広く採用されています。

【使用用途】
共振器モニタリング
振動やたわみ
熱膨張
寸法公差、検査
変形
厚み測定
ギャップ測定
対象物は導電体、絶縁体問わず計測可能です。

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開発からインラインまでパワフルに使用可能な波面センサ

Optocraft社はErlangenの光学研究所から2000年スピンアウトして創業された波面・レンズ計測のプロフェッショナルによる会社です。その独創的なシャックハルトマンセンサは高精度・高安定はもちろん、高センシティビティと高ダイナミックレンジを両立した非常にパワフルな波面センサです。その高い性能と高いサポート力で日本・ドイツを中心に多くのレンズメーカーの開発現場から製造現場まで幅広く採用されています。

アプリケーション例：
産業用カメラレンズ計測/アライメント
民生用カメラレンズ計測/アライメント
レーザー光源計測/アライメント
光学素子計測
天文用途
コンタクトレンズ・眼内レンズ計測

センサ単体、光源・光学モジュールを含んだシステム、ラボ用システム、フルオートシステムまで様々なお客様の要望に対応します。

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