膜厚計

ウエハの実温のリアルタイム測定！独自技術で読み込み温度の高い信頼性を実現。

正確なウエハ温度の把握は、品質向上・歩留まり改善のための重要な要素です。装置側の設定温度のみではなく、実際にウエハにかかる温度分布特性を知ることでプロセス温度設定・制御の簡略化、膜厚分布均一性の向上に貢献します。

当ツールでは、ウエハの実温のリアルタイム測定が可能です。独自技術により、温接点位置の固体差も低減し、読み込み温度の高い信頼性が得られます。

反射率分光法とカーブフィッティング法を組み合わせた光学式非接触膜厚測定装置です。
製造ライン向けに弊社でカスタムしたシステムFR-ESは、測定者にとってストレスのない大変スピーディな膜厚測定をご提供します。

反射率分光法とカーブフィッティング法を組み合わせた光学式非接触膜厚測定装置です。
FR-μProbeは、測定者にとってストレスのない大変スピーディな膜厚測定をご提供します。

人間の触感に近づけるセンサーを低コストで

薄膜感圧センサーを紹介するリーフレットです。

250μm以下と非常に薄く様々な形状に組込可能です。印刷工法生産で低コストを実現します。