東京計装株式会社

「UCL/SFC011C」資料

半導体製造装置などの流量計測に

測定対象：液体全般
流量範囲：最小0～3L/min
　　　　　最大0～80L/min
流体温度：10～60℃
流体圧力：0.5MPa max.
精度　　：±2％ R.D.