非接触型シート抵抗測定システムDELCOM
雄山株式会社
サンプル台に設置するだけで即座に測定結果が得られる測定レンジの広い非接触式のシート抵抗測定器
アメリカDELCOM instruments の製品です。
DC渦電流方式の非接触型シート抵抗測定システムは、半導体/液晶基板、太陽電池セル、フレキシブル材料、各種導電性フィルム等の研究開発・検査工程・製造ラインにおいて、サンプルへの物理的損傷を与えず、他社に無い幅広い測定レンジにて高精度な測定を実現します。
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特長
試料を設置するだけで即座に計測可能
センサー部に資料を設置させるだけで即座に計測結果が得られます。また、付属のソフトウェアによって単位換算、測定ログ管理等の詳細なデータを記録することもできます。簡便なテストから工程管理まで幅広くお使いいただけます。
非接触・DC渦電流式による幅広い計測範囲
従来の4探針(接触式)計測に比べ、試料に傷をつけずに広範囲の抵抗値を得られます。対象試料に対して適した4つのレンジからお選びいただけるだけで広範囲の抵抗値の測定を行うことができ、小片チップからフィルムなどの大面積の計測にも対応できます。
用途例
| 各種半導体ウェーハの抵抗率測定が簡便に行えます |
広い測定範囲によって、低抵抗基板から高抵抗基板、各種化合物半導体ウェーハの計測が可能です。 |
|---|---|
| ITO膜や導電性薄膜の抵抗率評価・管理に用いることができます |
各種導電性薄膜の抵抗率管理にもご使用することができます。単品の評価だけでなく製造ラインに組み込むことにより製品の管理にもご使用することができます。 リジットな試料のみならず、薄膜形成フィルムのような薄いサンプルにも対応致します。 |
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お問い合わせ
雄山株式会社
40年以上の培った経験や実績により、豊富な種類のプローバを取り揃えており、特注品にも対応しております。
雄山株式会社計測機器部は、半導体、有機ＥＬ、液晶、太陽電池、燃料電池の研究開発や生産に必要な検査・解析・評価用装置の製造販売及び輸入販売を行っています。特に、特殊環境下での測定が必要な研究開発部門にて使用される装置開発を得意として最先端分野への納入実績も数多く有しています。
又、現在は、従来のプロービング技術を基軸にそれがインテグレートされた応用技術分野への挑戦も行っており、将来は半導体を核とした応用技術も含め全ての分野での検査・解析・評価のサポートが出来る体制作りを目指しています。
出展団体情報
| 出展団体名 | 雄山株式会社 |
|---|---|
| 所在地 | 〒650-0047 兵庫県 神戸市 中央区港島南町1丁目4番地6 |
| 設立年月 | 1965年07月 |
| 従業員規模 | 51名-100名 |
| URL | https://www.oyama-web.com/guide4/ |