株式会社大阪真空機器製作所
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
磁気軸受形複合分子ポンプの特徴■高領域排気■大流量排気■優れた耐久性■回転数コントロール■オートキャリブレーション■チューニングフリー■メンテナンスコール■様々な特殊仕様