株式会社大阪真空機器製作所
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
TGkine®-Rシリーズの特徴■コンパクト設計 ■省電力設計 ■高流量設計■多彩な通信仕様(EtherCATも対応可能)■自社開発により、安定した軸受を実現■低速回転モード設定可能■国際規格適合:CE / NRTL / SEMI-S2