株式会社大阪真空機器製作所

TGkine®-Bシリーズ

コントローラ・電源一体型
磁気軸受形ターボ分子ポンプ

TGkine®-Bシリーズの特徴
■コントローラ/電源をポンプに一体化
■省スペース 省電力設計 大排気速度設計/高流量設計
■多様な通信仕様 (EtherCATも対応可能)
■自社開発により、安定した軸受を実現
■低速回転モード設定可能
■国際規格適合:CE/NRTL/SEMI-S2