特長

低価格マスフローコントローラ　MC-10シリーズ

ラバーシール、ソレノイドアクチュエータを採用することで、低価格を実現したガス用マスフローコントローラです。

高性能マスフローコントローラ　MC-3000Lシリーズ

　メタルシール、ピエゾアクチュエータを採用することで、±1.0%S.Pの高精度を実現したガス用マスフローコントローラです。

液体マスフローコントローラ　LC-3000Lシリーズ

当社独自のセンサ技術により高精度を実現した液体用マスフローコントローラです。

気化器　VUシリーズ

液体マスフローコントローラLCシリーズで液体制御をした後、気化器を設置することで、液体をガス供給することが可能です。

ガス加熱器　HXシリーズ

ガスを瞬時に設定温度まで加熱するガス加熱器です。最高300℃までの温度に対応しています。

用途例

各種電子デバイスの開発、製造現場	各種流体や流量、使用条件に合わせた製品をご提案します。 また、それらのシステム化にも対応しています。