株式会社ヒューブレイン
検査精度に合わせた画像分解能が選択可能
本装置は、ウェハダイシング後のチップを外観検査する装置です。検査精度に合わせた画像分解能が選択可能です。(約0.8μm~2.0μm/pixel)ミクロ検査(0.2um~2.0um 分解能)