特長

ミクロンサイズ以下のパーティクルに効果的

パーティクルコレクターは、対策が難しいとされるミクロンサイズ以下の微細な異物をターゲットにした、静電吸着式のツールです。 一般的なフィルターが通過させてしまうような小さなパーティクルを、電気的な力で静かにキャッチします。パーティクルの種類や材質は問いません。 パーティクルがキャッチされる様子は本ページの動画からご覧いただけます。

非接触式だから繊細な環境でも使用可能

パーティクルコレクターにはいくつかのタイプがありますが、いずれも対象物やその周辺部材への接触を必要としません。直接触れると傷つきやすい繊細な製品の生産工程であっても、安心してご使用いただけます。 パーティクルがキャッチされる様子は本ページの動画からご覧いただけます。

AC100Vで駆動

パーティクルコレクターは高電圧を使用した製品ですが、専用電源も自社にて開発を行っているため、AC100Vのコンセントで駆動するよう設計しています。タイプにより内部電源、外部電源のものがあります。

定期的なクリーニングで繰り返し使用可能

定期的に工業用アルコール（IPA）等を含ませたワイパーで拭き取っていただくことで、繰り返しご使用いただけます。クリーニングの頻度については、用途・使用環境により異なりますので、標準期間は設定しておりません。

用途例

ハイブリッドでパーティクルを強力にトラップするイオナイザータイプ	静電吸着ボードにフレーム型のイオナイザーを設置したタイプです。 イオナイザーでパーティクルを帯電させ、静電吸着ボードで強力にトラップします。 装置の排気口など気流の下手となる箇所に設置することで、より高い効果を発揮します。 （例）空気清浄機の排出口付近、設備の排気口付近、作業場におけるパーティクル発塵源付近など
真空環境にも対応したクーロンタイプ	すべての構成材質にアウトガス対策を施した材料を使用することも可能で、真空と大気を行き来する際に舞い上がるパーティクルの対策に適しています。 放電トラブルが発生しやすい低真空領域での運用にも独自のノウハウがあり、実績も豊富です。 クーロンタイプは周囲への電気的な影響が小さく、帯電を嫌う環境での使用にも適しています。 （例）真空装置におけるロードポート、ロードロック室、トランスファーチャンバーなど
引き寄せ効果も発揮する電界タイプ	距離のあるパーティクルを電気的な力のみで引き寄せることは容易ではありませんが、電界タイプは特殊な設計で、無風状態でも一定距離のパーティクルをトラップできるツールです。 パーティクルコレクターが発する電界が広範囲に渡るため、過度に帯電を嫌う環境での使用は推奨しておりません。 （例）工業製品の生産ライン近傍など