特長

レーザースキャニングシステム

レーザースキャニングシステムはレーザー投光光学系や受光光学系を光学スキャナでスキャンニングすることにより、高速、高分解能、広範囲でセンシング、データ出力をするシステムです。

レーザー、レーザードライバー、投光光学系、走査光学系、同期センサ、受光光学系、受光センサ、受光アンプなどにより構成されます。

●光学スキャナ　（光偏向器）
〇1次元スキャナ
モノゴンスキャナ、ポリゴンスキャナ、角度付きポリゴンスキャナ、ガルバノスキャナ
レゾナントスキャナ、光ＭＥＭＳスキャナ、ＡＯＤ・ＥＯＤ
〇２次元スキャナ
ガルバノスキャナ＋ガルバノスキャナ、ポリゴンスキャナ+ガルバノスキャナ
ポリゴンスキャナ+ポリゴンスキャナ、ガルバノスキャナ、光ＭＥＭＳスキャナ

●応用開発例：欠陥検査装置　
レーザースポットを高速にスキャンして受光器で反射又は透過光量を一括で受光します。
３００ｍｍ幅を１８ｍ／分のライン速度で１０μｍの欠陥が検出できます。
【設計例】
光源：660ｎｍレーザー光源
スポット径：40μｍ
スキャナ：ポリゴンスキャナ
最小検出能：5μｍ

●応用開発例：イメージングプレートリーダー
レントゲン写真の代わりに広く用いられているイメージングプレートは特定の波長のレーザーを照射しますと特定の波長の蛍光を発します。この光を一括で受光しスキャンタイミングとともに画像化します。

●応用開発例：LiDAR　
LiDARはレーザーの発光パルスから反射して帰ってくる受光パルスの時間や位相差を検出して距離を計測します。この投受光レーザビームをスキャンすることにより２次元、３次元データを計測することができます。

モノゴンスキャナ（モノミラー）、角度付きポリゴンスキャナ（角度付きポリゴンミラー）、光ＭＥＭＳスキャナ

■応用開発例：分光分析
特定波長又は複数の波長の光の吸収を測ることにより物質の濃度や有無を検出することができます。
メタンガス、二酸化炭素、窒素酸化物などのガス分析の他、リサイクルシステムにおけるプラスチック分別や大気分析モニターの応用があります。
ガルバノスキャナ、ポリゴンスキャナ+ガルバノスキャナ

■応用開発例：バーコードスキャナー
オムニスキャンタイプでは角度付きポリゴンスキャナとそれをさらに偏向するミラー群で２次元スキャンができます。

LiDAR開発

レーザービームを照射し、反射してくるまでの時間を測定することにより距離を測定するもので、対象となる物体の距離、形状や位置関係を3次元で把握できます。

●同軸投受光2次元走査LiDAR
投受光同軸構成、ガルバノ、ポリゴンミラーによる走査。
比較的長距離のLiDAR
投受光：同軸
スキャナ：ガルバノ、ポリゴンミラー
測定距離：～200m

●非同軸投光2次元走査、一括受光LiDAR
MEMSスキャナを使用しTOF方式による
比較的近距離のLiDAR
投受光：非同軸
スキャナ：2軸光MEMS
測定距離：0.1～6m

●１軸走査、ローテート走査3次元計測LiDAR
モノゴンミラーモータとローテートモータによる走査。
回転方向360°で上下方向に120°の広視野の測定が可能。
投受光：非同軸
スキャナ：モノゴンミラーモータ、ローテートモータ
測定距離：0.1～10m

●オムニスキャンLiDAR
2軸MEMSによるリサージュスキャンで360°測定
投受光：同軸
スキャナ：2軸光MEMS
測定距離：0.1～6m

パーティクルセンサ開発

気中、液中に存在する微粒子に対し、レーザビームを照射し、散乱・遮蔽の度合いを測定する事により微粒子の粒子数や粒径を測定します。

●粒度分布センサー
後方散乱、側方散乱を測定し粒子径ごとの分布を測定します。
測定粒子径：0.1μm、0.3μm、0.5μm、1μm
レーザ波長：633nm

●ウルトラファインバルブ
側方散乱を測定し水に含まれるウルトラファインバブルの濃度を測定します。

●高感度煙センサ
超高感度に煙の発生を検出します。
感度：0～0.05％／ｍ、～0.1％／ｍ、～0.2％／ｍ、～0.5％／ｍ、～1％／ｍ
レーザ波長：650nm
センサ検出状況の監視機能

●フローサイトメトリー
複数の波長のレーザを照射し、前方散乱、側方散乱を測定し、粒子・細胞を特定します。
レーザ波長：405nm、473nm、488nm、561nm、642nm、785nm
スポット径：15～30μm

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